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多軸機器人

RWS 單臂晶圓機器人

特徵軟硬體垂直整合優勢，並且採用高精密，高剛性直驅馬達，重複精度達±0.02mm，迴轉半徑小，空間使用率高。應用適用於半導體產業(晶圓取放)、光電產業(小型面板、小型太陽能板)、LED產業(藍寶石基板、膠環)等取放設備。

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产品介绍

特徵

軟硬體垂直整合優勢，並且採用高精密，高剛性直驅馬達，重複精度達±0.02mm，迴轉半徑小，空間使用率高。

應用

適用於半導體產業(晶圓取放)、光電產業(小型面板、小型太陽能板)、LED產業(藍寶石基板、膠環)等取放設備。

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